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Wafer Level Electron Beam Lithography process development and integration in SAL photonics and MEMS platforms.

Ziel dieses Projektes ist die Entwicklung einer intelligenten Mess- und Analyseplattform, die mehrere Sensoren mit fortschrittlichen Signalverarbeitungs- und Machine Learning-Techniken kombiniert und für industrielle Umgebungen geeignet ist.

Ziel des Projektes ist der Entwurf von skalierbaren und kaskadierbaren Subsystemen zur Realisierung eines Solid State Transformers für Mittelspannungsapplikationen.

SAL General Contract Terms

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