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Insights into SAL’s mission, values, research activities, and contribution to Europe’s innovation ecosystem.
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Thin Film Technologies

Forschungsschwerpunkte

Wir entwickeln hochleistungsfähige Dünnschichten als Grundlage für fortschrittliche Mikrosysteme und elektronische Bauelemente.

Unsere Forschung konzentriert sich auf die Entwicklung neuartiger Materialien und skalierbarer Produktionsprozesse, wobei wir physikalische und chemische Gasphasenabscheidung mit fortschrittlichen Charakterisierungstechniken kombinieren. Wir analysieren Materialeigenschaften von der atomaren bis zur makroskopischen Ebene und optimieren funktionale Eigenschaften wie Piezoelektrizität und Oberflächenwechselwirkungen.

Diese Dünnschichten dienen als wichtige Bausteine für piezoelektrische, photonische und magnetische Anwendungen in der Industrie und im Hightech-Bereich.

Forschungskompetenzen

Wir bieten umfassende Expertise in den Bereichen Dünnschichtabscheidung, Charakterisierung und Modellierung für fortschrittliche Materialsysteme.

Design & Simulation:

  • Atomistische Modellierung von Materialeigenschaften (z. B. Phasenstabilität, dielektrisches/piezoelektrisches Verhalten)
  • Modellierung elektrischer Felder und elektrooptischer Eigenschaften (z. B. LiNbO₃-Systeme)

Fertigung:

  • Abscheidung von Dünnschichten und Mehrschichtstrukturen auf Wafern bis zu 200 mm
  • Physikalische und chemische Gasphasenabscheidung von Funktionsmaterialien (piezoelektrisch, dielektrisch, metallisch, photonisch)
  • Technologien: Verdampfung, PECVD, PEALD, Sputtern (DC, RF, HiPIMS)

Charakterisierung & Testung:

  • Strukturanalyse (XRD, XRR, RSM, Spannungsanalyse)
  • Optische Charakterisierung (Ellipsometrie, Ramanspektroskopie)
  • Elektrische Charakterisierung (IV, CV, DLTS, LCR, VNA)
  • Funktionsprüfung (z. B. piezo-/ferroelektrische Reaktion, AFM-basierte Methoden)
  • Zuverlässigkeitsprüfung (HALT) und nicht standardmäßige Umgebungsbedingungen (Temperatur, Atmosphäre)

Uses

Entwicklung von Dünnschichten und Mehrschichtstrukturen für piezoelektrische MEMS-Aktuatoren

Entwicklung von Dünnschichtstapeln aus mehreren Materialien für HF-MEMS und optische Bauelemente

Abscheidung und Optimierung transparenter leitfähiger Oxide für Quantenanwendungen

Entwicklung von Wellenleitern, Dielektrika und elektrooptischen Dünnschichten für PICs

Projects

WBG Pilot Line

The WBG pilot line strengthens the competitiveness of the European semiconductor industry by promoting the entire value chain and the rapid introduction of advanced wide-bandgap technologies. The focus is on WBG semiconductors such as SiC and GaN, as well as novel ultra-WBG materials for high-performance and high-frequency applications….

Surf's Up

The „Surf's Up“ project is dedicated to the development of a new generation of high-frequency filters and resonators based on a new layer transfer technology and the production of epitaxial nitride layers using magnetron sputtering....

ViTFOX

ViTFOX is an international cooperation between Europe and Korea with the goal of advancing next-generation semiconductor technologies for artificial intelligence. The project focuses on the development of „ferroelectric-enhanced“ chips that can execute Vision Transformers (ViTs) with exceptional energy efficiency of over 50 trillion operations per second per watt (TOPS/W)...
All projects

Contact

Business Development
Lisa Kainz MA
Business Development Microsystems
Graz
+43 664 88 964 965
lisa.kainz@silicon-austria.com
Head of Research Unit
Priv.-Doz. Dr. Marco Deluca
Head of Research Unit Thin Film Technologies (TFT)
Graz
+43 664 88 515 685
marco.deluca@silicon-austria.com

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