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Mag-MEMS

Das Projekt „Mag-MEMS“ zielt darauf ab, einen miniaturisierten 3D-Tastsensor als Proof-of-Concept-Demonstrator zu entwickeln, der Scher- und Normalkräfte mit hoher räumlicher Auflösung und einem großen Empfindlichkeitsbereich erfassen kann. Dies wird durch die Integration maßgeschneiderter Arrays aus anisotropen magnetoresistiven (AMR) Sensoren erreicht, die die Verfolgung der dreidimensionalen Bewegung eines in einen flexiblen Rahmen eingebetteten permanenten Mikromagneten im Submillimeterbereich ermöglichen.

Projektziele

  • Entwicklung von Konzepten und Ansätzen zur 3D-Bewegungsverfolgung von Mikromagneten im Submillimeterbereich unter Verwendung planarer 2D-Magnetfeldsensoren (magnetoresistiv)
  • Entwurf von AMR-Sensorarrays, die mittels einer Kombination aus mikromagnetischen, analytischen und Finite-Elemente-Simulationen gezielt auf die Anforderungen eines 3D-Magnet-Tastsensors abgestimmt sind
  • Abscheidung und Strukturierung magnetischer Dünnschichten zur Mikrofabrikation von AMR-Sensoren
  • Charakterisierung und Testung von AMR-Sensorarrays in der Laborumgebung

Die laufenden Arbeiten konzentrieren sich auf die Integration von AMR-Sensoren und submillimetergroßen Permanent-Mikromagneten in einen Proof-of-Concept-Demonstrator für magnetische Tastsensoren.

Projekt­kon­sor­tium

Projekt-
fakten

Titel: Magnetischer 3D-Tastsensor (Mag-MEMS)
Programm: SAL Strategic Research (SSR)
Publikationen:

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Kontakt

Business Development
Lisa Kainz MA
Business Development Microsystems
Graz
+43 664 88 964 965
lisa.kainz@silicon-austria.com
Projektleiter:in
Dr. Stefano Lumetti
Senior Scientist Magnetic Microsystem Technologies
Villach
+43 664 88 200 136
stefano.lumetti@silicon-austria.com

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