SAL MicroFab & Cleanrooms
Wir verbinden modernste Reinrauminfrastruktur mit Forschungsexzellenz und beschleunigen den Weg von der Idee zum marktreifen Produkt.
Modernste Mikrofabrikation für Mikrosysteme der nächsten Generation
Die 1.400 m² große SAL MicroFab am High-Tech-Campus Villach ist Österreichs modernste Forschungsinfrastruktur für Mikro- und Nanotechnologien. Die Anlage wurde speziell für Forschung, Prototypenentwicklung und Kleinserienfertigung konzipiert und umfasst zwei nach ISO 14644:2015 zertifizierte Reinräume. Der Schwerpunkt liegt auf mikro(opto)elektromechanischen Systemen (M(O)EMS) sowie Wafer-Level-Technologien der nächsten Generation.
Mit ihren umfassenden Mikrofabrikationskapazitäten unterstützt die SAL MicroFab Rapid Prototyping, Prozessentwicklung, Charakterisierung und Pilotfertigung für Anwendungen in den Bereichen Dünnschichttechnologie, piezoelektrische MEMS, Photonik, Magnettechnologien, Quantentechnologien und heterogene Integration. Als Brücke zwischen Forschung und Industrie beschleunigt sie die Entwicklung innovativer Konzepte hin zu skalierbaren und marktfähigen Technologien.
Unsere Process Capabilities
SAL MicroFab ist Österreichs größter und modernster Forschungs-Reinraum für Mikro- und Nanotechnologien. Wir begleiten Innovationen vom Konzept bis zum Bauteil und beschleunigen den Transfer vom Labor in die industrielle Anwendung – für Branchen wie Automotive, HealthTech, Telekommunikation und Kommunikationstechnologien.
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