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MUSIC

MUSIC hat sich zum Ziel gesetzt, Materialien, Technologien zur Prozessintegration und Methoden zu entwickeln, um neue Materialien wie AlScN einzusetzen, die bleihaltige Materialien in piezoelektrischen Bauelementen ersetzen können.

Projektziele

  • Entwicklung der Sputtertechnologie zur Abscheidung hochwertiger AlSc₃₀ – 36 % N-Mehrschichten
  • Entwicklung einer Polymertransfertechnologie zur Integration von piezoelektrischen MEMS-Bauelementen in Polymere zur Leistungsoptimierung
  • Entwicklung von Test- und Charakterisierungsmethoden
  • Entwurf und Charakterisierung von MEMS-Mikrolautsprecher-Testmodellen, um die Technologie zu testen und die Machbarkeit des mehrschichtigen bleifreien Ansatzes zu bewerten
  • Entwicklung von Methoden zur Prozessindustrialisierung, um die Prozesse für die Massenfertigung zu skalieren

Das Projekt vereint zahlreiche Partner, von Materialanbietern über Anbieter von Halbleiterwerkzeugen und Fabless-Designunternehmen bis hin zu Foundries für die Massenfertigung und integrierten Geräteherstellern.

Projekt­kon­sor­tium

Projekt-
fakten

Titel: AlSc30-36%N Multilayers for next generation piezoMEMS Microspeakers
Programm: SAL Cooperative Research
Projektkoordinator: Silicon Austria Labs GmbH (SAL)
Laufzeit: 2 Jahre (2023–2025)

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Kontakt

Business Development
Lisa Kainz MA
Business Development Microsystems
Graz
+43 664 88 964 965
lisa.kainz@silicon-austria.com
Projektleiter:in
Dr. Humberto Campanella Pineda
Head of Research Unit Piezoelectric Microsystem Technologies (PMT)
Villach
+43 664 78 067 335
humberto.campanella@silicon-austria.com

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