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Einblicke in Mission, Werte und Forschungsaktivitäten sowie den Beitrag von SAL zur europäischen Innovationslandschaft.
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Piezoelectric Microsystem Technologies

Nahaufnahme Micromirror

Forschungsschwerpunkte

Wir entwickeln hochmoderne piezoelektrische Dünnschichten und deren Integration in MEMS-Bauteile der nächsten Generation.

Der Schwerpunkt unserer Arbeit liegt auf dem Entwurf und der Herstellung komplexer piezoelektrischer Mikrosysteme, darunter akustische Wandler (PMUT, SAW/BAW, Mikrofone, Mikrolautsprecher) und Mikrospiegel. Wir sind auf Unimorph- und Multimorph-Dünnschichtkonzepte spezialisiert und entwickeln Mikrofabrikationsprozesse für hochwertige Materialien wie AlN, AlScN und PZT auf 200-mm-Si- und SOI-Wafern.

Diese Kompetenzen ermöglichen leistungsstarke Lösungen für Anwendungen in den Bereichen Telekommunikation, Automobilindustrie sowie industrielle Sensorik und Aktorik.

Forschungskompetenzen

Wir decken die gesamte Entwicklungskette vom Bauteilentwurf über die Fertigung bis hin zur Charakterisierung piezoelektrischer MEMS ab.

Design & Simulation:

  • Anwendungsorientierter Entwurf piezoelektrischer MEMS-Bauteile
  • Definition von Materialstapeln und Prozesskonzepten
  • Multiphysik-Simulation (akustisch, elektrisch, optisch) auf Bauteil-, Gehäuse- und Systemebene
  • Analytische, kompakte und verhaltensbasierte Modellierung (einschließlich nichtlinearer Effekte)
  • Maschinell lernunterstützte Designoptimierung und System-Co-Design

Fertigung:

  • Prozessentwicklung auf 200-mm-Si- und SOI-Wafern
  • Dünnschichtabscheidung und Strukturierung von AlN, AlScN und PZT
  • Integration von Elektroden und Passivierungsschichten
  • Silizium-Mikrobearbeitung (Vorder- und Rückseitenätzung)
  • Vakuumverpackung auf Wafer-Ebene
  • Übertragung vom Proof-of-Concept zu skalierbaren Prozessen

Charakterisierung & Testung:

  • Entwurf von Teststrukturen und Prozesskontrollmonitoren
  • Akustische Charakterisierung (Schallschutzkammer, Akustikbecken, Verasonics)
  • Optische und mechanische Charakterisierung (z. B. LDV, digitale Holographie)
  • Elektrische Prüfung (Impedanz- und Netzwerkanalyse bis in den GHz-Bereich)

Anwendungen

Mikrospiegel für Rechenzentren, Telekommunikation & autonome Fahrzeuge

Mikrofone & Mikrolautsprecher für den Verbrauchermarkt & die Sensorik

PMUTs für medizinische Bildgebung, Sensorik & industrielle Anwendungen

SAW/BAW-Resonatoren für HF-Filter und biologische Sensoren

Projekte

Aeromic

Im Rahmen des Projekts wurden innovative wandmontierte Mikrofonsensoren sowie ultradünne Sensorarrays entwickelt, um Druckschwankungen an Flugzeugoberflächen sowohl im Windkanal als auch bei Flugtests zu messen….

AURORA

In Zusammenarbeit mit TDK Electronics hat Silicon Austria Labs (SAL) 2D-Mikrospiegel der nächsten Generation für AR/VR-Anwendungen entwickelt. Der Fokus lag dabei auf einem großen Sichtfeld, geringem Stromverbrauch und einer kompakten Bauweise. Die Bauelemente wurden als Prototypen mithilfe der 200-mm-PiezoMEMS-Technologieplattform von SAL realisiert….

Listen2Future

Listen2Future entwickelte neuartige miniaturisierte Mikrofone und Ultraschallsensoren für Anwendungen in der industriellen und medizinischen Diagnostik. Dabei leitete Silicon Austria Labs die Entwicklung leistungsstarker akustischer MEMS-Wandler wie PMUTs und PMICs für medizinische Bildgebung und digitale Industrieanwendungen….
Zu allen Projekten

Kontakt

Business Development
Lisa Kainz MA
Business Development Microsystems
Graz
+43 664 88 964 965
lisa.kainz@silicon-austria.com
Head of Research Unit
Dr. Humberto Campanella Pineda
Head of Research Unit Piezoelectric Microsystem Technologies (PMT)
Villach
+43 664 78 067 335
humberto.campanella@silicon-austria.com

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