Zusammenarbeit

Partnerschaften für Forschung, Entwicklung und Technologietransfer – von gemeinsamen Projekten bis hin zu maßgeschneiderten Lösungen.

Über SAL

Einblicke in Mission, Werte und Forschungsaktivitäten sowie den Beitrag von SAL zur europäischen Innovationslandschaft.

AURORA

In Zusammenarbeit mit TDK Electronics hat Silicon Austria Labs (SAL) 2D-Mikrospiegel der nächsten Generation für AR/VR-Anwendungen entwickelt. Der Fokus lag dabei auf einem großen Sichtfeld, geringem Stromverbrauch und einer kompakten Bauweise. Die Bauelemente wurden als Prototypen mithilfe der 200-mm-PiezoMEMS-Technologieplattform von SAL realisiert.

Projektziele

  • Entwicklung neuer Konzepte für die Konstruktion effizienter MEMS-Bauelemente, die speziell auf AR/VR-Anwendungen zugeschnitten sind
  • Entwicklung von Dünnschicht-Technologiemodulen mit Fokus auf hochwertigen piezoelektrischen Dünnschichten
  • Aufbau und Optimierung einer Technologieplattform für die Mikrofabrikation von PiezoMOEMS
  • Entwicklung maßgeschneiderter Charakterisierungsanlagen und -techniken für PiezoMOEMS-Bauelemente

Im Rahmen des Projekts wurde eine etablierte Plattform für Design, Technologie und Charakterisierung aufgebaut und durch mehrere Generationen von PiezoMOEMS validiert, die erfolgreich entwickelt, gefertigt und getestet wurden.

Projekt­kon­sor­tium

Projekt-
fakten

Titel: Augmented Reality with Optical MEMS Micromirrors
Programm: SAL Cooperative Research (SCR)
Laufzeit: Juli 2021 – Juli 2025

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Kontakt

Business Development
Lisa Kainz MA
Business Development Microsystems
Graz
Projektleiter:in
Dr. Anton Lagosh
Senior Scientist Piezoelectric Microsystem Technologies
Villach

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