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AURORA

In Zusammenarbeit mit TDK Electronics hat Silicon Austria Labs (SAL) 2D-Mikrospiegel der nächsten Generation für AR/VR-Anwendungen entwickelt. Der Fokus lag dabei auf einem großen Sichtfeld, geringem Stromverbrauch und einer kompakten Bauweise. Die Bauelemente wurden als Prototypen mithilfe der 200-mm-PiezoMEMS-Technologieplattform von SAL realisiert.

Projektziele

  • Entwicklung neuer Konzepte für die Konstruktion effizienter MEMS-Bauelemente, die speziell auf AR/VR-Anwendungen zugeschnitten sind
  • Entwicklung von Dünnschicht-Technologiemodulen mit Fokus auf hochwertigen piezoelektrischen Dünnschichten
  • Aufbau und Optimierung einer Technologieplattform für die Mikrofabrikation von PiezoMOEMS
  • Entwicklung maßgeschneiderter Charakterisierungsanlagen und -techniken für PiezoMOEMS-Bauelemente

Im Rahmen des Projekts wurde eine etablierte Plattform für Design, Technologie und Charakterisierung aufgebaut und durch mehrere Generationen von PiezoMOEMS validiert, die erfolgreich entwickelt, gefertigt und getestet wurden.

Projekt­kon­sor­tium

Projekt-
fakten

Titel: Augmented Reality with Optical MEMS Micromirrors
Programm: SAL Cooperative Research (SCR)
Laufzeit: Juli 2021 – Juli 2025

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Kontakt

Business Development
Lisa Kainz MA
Business Development Microsystems
Graz
+43 664 88 964 965
lisa.kainz@silicon-austria.com
Projektleiter:in
Dr. Anton Lagosh
Senior Scientist Piezoelectric Microsystem Technologies
Villach
+43 664 78 243 434
anton.lagosh@silicon-austria.com

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