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Das Projekt verfolgte folgende Ziele:

• Entwicklung leistungsfähiger MEMS-Schallwandler der nächsten Generation, darunter Mikrofone und Ultraschallsensoren
• Ermöglichung miniaturisierter, energieeffizienter und kostengünstiger Sensorsysteme für medizinische und industrielle Anwendungen
• Integration von KI-Algorithmen und spezialisierter Hardware zur intelligenten Echtzeit-Signalverarbeitung
• Überführung neuer Sensortechnologien in die Serienproduktion und Stärkung der europäischen Industrie
• Demonstration von Anwendungen in den Bereichen Gesundheit, Wohlbefinden, digitale Industrie und Energie
• Unterstützung des Übergangs zu einer stärker digitalisierten „Gesellschaft 5.0“ durch fortschrittliche Sensorlösungen
• Skalierung mikroelektromechanischer Sensoren für eine kosteneffiziente Serienfertigung in großen Stückzahlen

Im Rahmen des Projekts wurden ein leistungsstarker Breitband-PMUT mit mehreren Schwingungsmoden sowie ein entsprechendes PDK (Process Design Kit) für fortschrittliche medizinische Bildgebungsanwendungen entwickelt. Parallel dazu entstanden luftgekoppelte PMUTs und piezoelektrische Mikrofone (PMICs), unterstützt durch moderne Charakterisierungsmethoden für Anwendungen in der Unterhaltungselektronik und der digitalen Industrie.