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Insights into SAL’s mission, values, research activities, and contribution to Europe’s innovation ecosystem.
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Magnetic Microsystem Technologies

Forschungsschwerpunkte

Wir entwickeln magnetische Mikrosysteme und Technologien für Sensorik, Aktuatorik, HF-Anwendungen sowie für innovative spintronische und quantenbasierte Systeme.

Unsere Abteilung deckt die gesamte Entwicklungskette ab – von Modellierung und Design über Material- und Dünnschichtentwicklung bis hin zu Mikro- und Nanofabrikation, Integration und Charakterisierung.

Dabei arbeiten wir in zentralen Technologiefeldern wie magnetischen Materialien, magnetoresistiven Sensortechnologien, magnetisch aktuierten MEMS, mikromagnetischen Komponenten sowie spintronischen Konzepten und magnetischen HF- und Mikrowellenbauelementen.

Durch die Kombination von Expertise in Magnetismus, Mikrosystemtechnik und Dünnschichttechnologien innerhalb unserer Reinraumumgebung entwickeln und validieren wir leistungsfähige Demonstratoren für industrielle Anwendungen und zukünftige Technologiefelder.

Forschungskompetenzen

Wir decken die gesamte Entwicklungskette magnetischer Mikrosysteme ab – von der Simulation und dem Design bis hin zur Fertigung und Systemcharakterisierung.

 

Design & Simulation

  • Simulation von Mikro- und Makromagnetfeldern sowie Multidomänen-Analysen (z. B. mit Magpylib, eigenentwickelt)
  • Systemdesign und -optimierung
  • Maßgeschneiderte numerische Methoden (FE, FD, MoM, BEM)
  • ML- und KI-basierte Algorithmen
  • Mikromagnet-Design

 

Fertigung

  • Fertigungszentrum für Mikromagnete
  • Lithografieverfahren (Maskenausrichter, Laser, Elektronenstrahl)
  • Abscheidung magnetischer Dünnschichten (Magnetron-Sputtern, Verdampfung)
  • Nass- und Trockenätzverfahren (RIE, Ionenstrahlätzen)

 

Charakterisierung & Prüfung

  • Präzise Tests von Magnetsensoren, Polrädern und Mikrosystemen
  • Dünnschichtcharakterisierung
  • Reinraum-Messtechnik (SEM, EDX, XRD, AFM, MFM)
  • Magnetische Messaufbauten (VSM, Helmholtz-Spulen, Elektromagnete sowie kundenspezifische Setups)

Uses

Magnetische Systeme zur Positions- und Orientierungserfassung für Sensorik und Antriebstechnik

Magnetische MEMS für Antriebe, Sensorik, Mikromotoren und Energiegewinnung

Spintronische Anwendungen für Sensorik, Bio-Detektion und magnetische Bauelemente

HF-Komponenten für Telekommunikation, Radar, Sensorik und abstimmbare Mikrowellensysteme

Projects

Indspeed

The INDSPEED project is developing a new ultra-precise magnetic encoder system based on TMR sensors and SmCo pole wheels.

Mag-MEMS

The „Mag-MEMS“ project aims to develop a miniaturized 3D tactile sensor as a proof-of-concept demonstrator that can detect shear and normal forces with high spatial resolution and a large dynamic range. This will be achieved by integrating tailored arrays of anisotropic magnetoresistive (AMR) sensors, which allow for tracking the three-dimensional motion of a permanent micro-magnet embedded in a flexible frame in the sub-millimeter range….

Speak-speak

The objective of the „Mag-Speak“ project was to develop, manufacture, and test a new generation of MEMS woofer micro-speakers based on magnetic drive principles. A proof-of-concept micro-speaker was sought, offering a significantly more compact design compared to current state-of-the-art systems, while simultaneously achieving sound pressure levels and total harmonic distortion values that meet market requirements for woofers.
All projects

Contact

Business Development
Lisa Kainz MA
Business Development Microsystems
Graz
+43 664 88 964 965
lisa.kainz@silicon-austria.com
Head of Research Unit
Dr. Michael Ortner
Head of Research Unit Magnetic Microsystem Technologies
Villach
+43 664 88 200 148
michael.ortner@silicon-austria.com

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