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Surf’s Up

Das Projekt „Surf’s Up“ widmet sich der Entwicklung einer neuen Generation von Hochfrequenzfiltern und Resonatoren auf der Grundlage einer neuen Technologie zur Schichtübertragung und zur Herstellung epitaktischer Nitridschichten mittels Magnetron-Sputtern.

Projektziele

Dieses Projekt hat folgende Ziele:

  • Weiterentwicklung der aktuellen Technologie von HF-Filtern auf Basis von Volumenwellen in piezoelektrischen Materialien (z. B. AlScN)
  • Untersuchung der Wechselwirkungen zwischen allen Komponenten des Schichtstapels, wie z. B. den Elektrodenschichten und dem akustischen Spiegel
  • Entwicklung von epitaktischem Al0,7Sc0,3N auf handelsüblichen Substraten im industriellen Maßstab mittels Magnetron-Sputtern
  • Entwicklung eines neuen Mikrofabrikationsverfahrens einschließlich des Schichttransfers eines epitaktischen Al0,7Sc0,3N-Dünnfilms für hochwertige Resonatorstrukturen
  • Demonstration der Leistungsfähigkeit von Al0,7Sc0,3N- und Interdigitated-Transducer-Strukturen (IDT) für optoakustische Anwendungen

Projekt­kon­sor­tium

Projekt-
fakten

Titel: Surf’s Up
Programm: Chip2Sys
Projektkoordinator: Silicon Austria Labs GmbH
Projektdauer: Juli 2023 – Juni 2027

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Kontakt

Business Development
Lisa Kainz MA
Business Development Microsystems
Graz
+43 664 88 964 965
lisa.kainz@silicon-austria.com
Projektleiter:in
Dr. Dmytro Solonenko
Senior Scientist Thin Film Technologies
Villach
+43 664 88 843 727
dmytro.solonenko@silicon-austria.com

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