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Surf’s Up

Das Projekt „Surf’s Up“ widmet sich der Entwicklung einer neuen Generation von Hochfrequenzfiltern und Resonatoren auf der Grundlage einer neuen Technologie zur Schichtübertragung und zur Herstellung epitaktischer Nitridschichten mittels Magnetron-Sputtern.

Projektziele

Dieses Projekt hat folgende Ziele:

Weiterentwicklung der aktuellen Technologie von HF-Filtern auf Basis von Volumenwellen in piezoelektrischen Materialien (z. B. AlScN)
Untersuchung der Wechselwirkungen zwischen allen Komponenten des Schichtstapels, wie z. B. den Elektrodenschichten und dem akustischen Spiegel
Entwicklung von epitaktischem Al0,7Sc0,3N auf handelsüblichen Substraten im industriellen Maßstab mittels Magnetron-Sputtern
Entwicklung eines neuen Mikrofabrikationsverfahrens einschließlich des Schichttransfers eines epitaktischen Al0,7Sc0,3N-Dünnfilms für hochwertige Resonatorstrukturen
Demonstration der Leistungsfähigkeit von Al0,7Sc0,3N- und Interdigitated-Transducer-Strukturen (IDT) für optoakustische Anwendungen

Projektkonsortium

Qualcomm Austria GmbH

Silicon Austria Labs GmbH

Projekt-
fakten

Titel: Surf’s Up
Programm: Chip2Sys
Projektkoordinator: Silicon Austria Labs GmbH
Projektdauer: Juli 2023 – Juni 2027

Dieses Projekt unterstützt folgende UN-Nachhaltigkeitsziele

11

SUSTAINABLE CITIES AND COMMUNITIES

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SUSTAINABLE CITIES AND COMMUNITIES

12

RESPONSIBLE CONSUMPTION AND PRODUCTION

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RESPONSIBLE CONSUMPTION AND PRODUCTION

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Das Projekt „Surf’s Up“ widmet sich der Entwicklung einer neuen Generation von Hochfrequenzfiltern und Resonatoren auf der Grundlage einer neuen Technologie zur Schichtübertragung und zur Herstellung epitaktischer Nitridschichten mittels Magnetron-Sputtern….

Mag-MEMS

Das Projekt „Mag-MEMS“ zielt darauf ab, einen miniaturisierten 3D-Tastsensor als Proof-of-Concept-Demonstrator zu entwickeln, der Scher- und Normalkräfte mit hoher räumlicher Auflösung und einem großen Empfindlichkeitsbereich erfassen kann. Dies wird durch die Integration maßgeschneiderter Arrays aus anisotropen magnetoresistiven (AMR) Sensoren erreicht, die die Verfolgung der dreidimensionalen Bewegung eines in einen flexiblen Rahmen eingebetteten permanenten Mikromagneten im Submillimeterbereich ermöglichen….

EMI Clean Converters

Elektromagnetische Störungen frühzeitig erkennen statt kostspielig nachbessern: Mit unserem Simulationsframework können EMV-Risiken bereits während der Entwicklung leistungselektronischer Systeme bewertet und minimiert werden….

Kontakt

Business Development

Lisa Kainz MA

Business Development Microsystems

Graz

+43 664 88 964 965

lisa.kainz@silicon-austria.com

Projektleiter:in

Dr. Dmytro Solonenko

Senior Scientist Thin Film Technologies

Villach

+43 664 88 843 727

dmytro.solonenko@silicon-austria.com