Die Abscheidung von Dünnschicht-Piezomaterialien wie PZT mit seinen hohen piezoelektrischen Koeffizienten und seiner starken elektromechanischen Kopplung ist für die Produktion der intelligenten Sensoren und Aktoren von morgen in Anwendungen wie Ultraschallwandlern (pMUT), Mikrospiegeln und Tintenstrahlköpfen unerlässlich. Die Entwicklung robuster Herstellungsprozesse, die ein optimales kristallines Wachstum, die Filmspannung und die Gleichmäßigkeit kontrollieren, sind der Schlüssel zur Bereitstellung der von MEMS-Fertigungen und IDMs benötigten PZT-Filme. Genau das hat sich Silicon Austria Labs mit den jüngsten Investitionen in neue Produktionskapazitäten zum Ziel gesetzt.
Das Team des Forschungsbereichs Microsystem Technologies bei SAL in Villach installiert eine neue CLUSTERLINE® 200 Dünnschichtanlage mit einem innovativen neuen PZT-Beschichtungsmodul für die Bearbeitung von 200mm-Wafern. Die Forscher*innen von SAL und Evatec werden eng zusammenarbeiten und Messungen zur Charakterisierung der Depositionsparameter und der Schichteffizienz durchführen. Mohssen Moridi, Leiter der Forschungsabteilung Microsystem Technologies bei SAL, kommentierte: "Die Anschaffung dieses neuen Beschichtungssystems verbessert die Fähigkeit, unsere Industriekunden mit einer ganzen Reihe neuer Dünnschichtprozesse auf einer Anlage zu unterstützen, die ihren eigenen Produktionshallen entspricht. Wir freuen uns darauf, die Installation der Anlage mit den Ingenieuren von Evatec Europe abzuschließen und erwarten, dass die ersten Schichten in unserem neuen PZT-Modul im vierten Quartal 2021 abgeschieden werden".
Christina Hirschl, Leiterin der Division Sensor Systems und Standortleiterin bei SAL in Villach, freut sich über das erweiterte Angebot für die Industrie: „Wir freuen uns jetzt ein absolut innovatives Tool im Haus zu haben, das einzigartige Prozessmöglichkeiten bietet und welches wir gemeinsam mit Evatec weiterentwickeln möchten. Davon profitieren nicht nur die Global Player in der Halbleiterindustrie, sondern wir können auch kleinen und mittleren Unternehmen einzigartige Beschichtungstechnologien als Dienstleistung anbieten.“
Silvan Wuethrich, Leiter der BU Semiconductor von Evatec, kommentierte: "Die Kerninteressen von SAL an der Weiterentwicklung von Produktionstechnologien und -prozessen in den Bereichen Advanced Packaging, Power Devices, MEMS, Wireless Communication und Optoelektronik passen perfekt zu Evatec. Wir freuen uns darauf, in einem ersten Schritt unserer Zusammenarbeit gemeinsam neue PZT-Prozesse zu entwickeln".
Über Evatec
Von der HB-LED-Beleuchtung für unsere Automobile bis hin zur Gesichtserkennungstechnologie für unsere Mobiltelefone - die Entwicklung und Herstellung der besten Lösungen für die Dünnschichtproduktion ist unser tägliches Geschäft. Das Know-how von Evatec verschafft unseren Kunden einen Vorsprung in einer ganzen Reihe von Anwendungen in der Halbleiter-, Optoelektronik- und Photonikindustrie. Unsere Beschichtungstechnologien ermöglichen die Abscheidung neuer Materialien, bieten eine fortschrittliche Prozesssteuerung für neue Leistungsniveaus der Schichten und werden mit innovativer Systemtechnik für niedrigste Produktionskosten geliefert.
Pressekontakt: Allan Jaunzens, allan.jaunzens@evatecnet.com | +44 7802 784406|
Über Silicon Austria Labs GmbH
Silicon Austria Labs GmbH (SAL) ist Österreichs Spitzenforschungszentrum für elektronikbasierte Systeme. An den Standorten Graz, Villach und Linz wird in den Bereichen Sensor Systems, Power Electronics, RF Systems, System Integration Technologies und Embedded Systems an zukunftsweisenden Lösungen für Umweltschutz, Gesundheit, Energie, Mobilität und Sicherheit geforscht. SAL bringt dabei wesentliche Akteure aus Industrie und Wissenschaft und damit wertvolle Expertise und Know-how zusammen und betreibt kooperative, anwendungsorientierte Forschung entlang der Wertschöpfungskette. Kooperative Projekte werden von SAL kofinanziert und ermöglichen einen unbürokratischen und schnellen Projektstart. Damit gestaltet SAL den Hochtechnologiestandort Österreich und Europa und entfaltet die Zukunft – „UNFOLD THE FUTURE“.
Pressekontakt: Isabella Preuer, Corporate Communications & PR, press@silicon-austria.com, Telefon +43 05 0317 100
