Das bestehende Tool ist bereits mit Einzel- und Mehrquellen-Sputtertechnologie ausgestattet, was maximale Flexibilität für SALs Fokus auf neue Prozessentwicklungen bietet. Das neueste Upgrade markiert einen wichtigen Meilenstein für SAL, da es ein zusätzliches PEALD-Prozessmodul integriert. Die in dieser neuesten ALD-Technologie verwendete Hochdichte-Mikrowellenplasmaquelle ermöglicht eine Verarbeitung bei niedrigen Temperaturen und vermeidet unerwünschten Ionenbeschuss bei der Arbeit mit empfindlichen Substraten und Materialien.
Mohssen Moridi, Senior Executive Director bei SAL, kommentierte: „Die neue Werkzeugkonfiguration bietet uns einzigartige Möglichkeiten, Prozessabläufe zu entwickeln, die sowohl ALD- als auch PVD-Schritte auf einer einzigen Plattform ohne Zwischenvakuumbruch umfassen. Für die Arbeit, die wir in Bereichen wie RF leisten, wird die Fähigkeit, empfindliche Materialien zu handhaben, auch neue mögliche Prozesse eröffnen.“
Ralf Eichert, Managing Director Evatec Europe, kommentierte: „Der SAL-Standort in Villach ist bereits als führendes Forschungszentrum in Bereichen wie MEMS und Advanced Packaging etabliert. Wir freuen uns, sie zu unterstützen, während sie ihre Fähigkeiten als Zentrum für industrielle F&E und Kleinserienprototyping weiter ausbauen.“
Über SAL
Silicon Austria Labs treibt Ideen in den Bereichen Mikrosysteme, Sensorsysteme, intelligente drahtlose Systeme, Leistungselektronik und eingebettete Systeme mit konsequenter Forschungsexzellenz und wirtschaftlicher Wirkung in Innovationen voran. Für weitere Informationen besuchen Sie silicon-austria-labs.com.
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Als weltweit führendes Unternehmen in der Dünnschichttechnologie entwirft und fertigt Evatec Produktionssysteme für die Industrie in Anwendungen wie Advanced Packaging, Halbleiter, Optoelektronik und Photonik, während maßgeschneiderte Ingenieurlösungen die Ausrüstung unterstützen, die an den weltweit führenden F&E-Institutionen benötigt wird. Für weitere Informationen besuchen Sie evatecnet.com.
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