Mag-MEMS

Das Projekt „Mag-MEMS“ befasst sich mit der Entwicklung und Herstellung eines magnetischen 3D-Tastsensors, der auf entsprechend gestalteten Arrays magnetoresistiver Sensoren basiert.

Das Projekt „Mag-MEMS“ zielt darauf ab, einen 3D-Demonstrator für taktile Sensoren zu realisieren, der kundenspezifische planare Arrays von anisotropen magnetoresistiven (AMR) Sensoren integriert.

Die folgenden F&E-Aktivitäten werden im Rahmen des Projekts durchgeführt:

Design magnetoresistiver Sensoren durch mikromagnetische Simulationen
Abscheidung und Strukturierung magnetischer Dünnschichten zur Herstellung von AMR-Sensoren
Charakterisierung und Test von AMR-Sensorbauelementen
Integration der AMR-Sensoren in Mikrosysteme

Projektfakten

Titel: Magnetic 3D tactile sensor
Programm: SAL Strategische Forschung

Ihr Ansprechpartner

Stefano Lumetti, PhD

Senior Scientist

E-mail: stefano.lumetti@silicon-austria.com

Forschungsprogramm

"Mag-MEMS" ist ein Projekt im Rahmen der SAL Strategischen Forschung, welches sich auf die Forschungsthemen "Magnetische Mikrosysteme" und "Magnetoresistive Sensoren" des SAL-Leuchtturms "More-Than-Moore" konzentriert.