6G R&D FAB
- Mit dem Projekt 6G R&D FAB wird SAL eine Plattform für die Entwicklung von HF-Komponenten für die Zukunft der Konnektivitätsanwendungen schaffen. Dies geschieht im Rahmen des More-than-Moore-Paradigmas, das die Welt der siliziumbasierten Bauelemente über ihre üblichen Grenzen hinausschiebt.
- Die Plattform bietet eine einzigartige Kombination aus fortschrittlichen Werkzeugen für die Herstellung von HF-Komponenten (Strukturierungs- und Trockenätzgeräte) und für deren Prüfung und Charakterisierung (automatisiertes optisches Prüfgerät, automatisierter HF-Prober).
- Der UV-Mask-Aligner und das Trockenätz-Cluster-Tool werden in Verbindung mit anderen Bearbeitungsgeräten die Türen für innovative Designs von HF-Komponenten öffnen (modernste Strukturierung von Dünnschichtstapeln für Hochleistungs-HF-Filter).
- Die Charakterisierungs- und Inspektionsplattform wird eine hochmoderne Prozesssteuerung für eine höhere Ausbeute im Rahmen fortgeschrittener F&E und kleiner Serien ermöglichen.
Ihr Ansprechpartner
Dr. Jérémy Streque
Senior Scientist | Piezoelectric Microsystem Technologies
E-mail: contact@silicon-austria.com
Forschungsprogramm
Dieses Projekt wird aus Mitteln des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung kofinanziert. Nähere Informationen zu IWB/EFRE finden Sie auf www.efre.gv.at.
