6G R&D FAB

Plattform für die Pilotlinienproduktion von 6G-fähigen HF-Komponenten für erweiterte Konnektivitätsanwendungen
  • Mit dem Projekt 6G R&D FAB wird SAL eine Plattform für die Entwicklung von HF-Komponenten für die Zukunft der Konnektivitätsanwendungen schaffen. Dies geschieht im Rahmen des More-than-Moore-Paradigmas, das die Welt der siliziumbasierten Bauelemente über ihre üblichen Grenzen hinausschiebt.
  • Die Plattform bietet eine einzigartige Kombination aus fortschrittlichen Werkzeugen für die Herstellung von HF-Komponenten (Strukturierungs- und Trockenätzgeräte) und für deren Prüfung und Charakterisierung (automatisiertes optisches Prüfgerät, automatisierter HF-Prober).
  • Der UV-Mask-Aligner und das Trockenätz-Cluster-Tool werden in Verbindung mit anderen Bearbeitungsgeräten die Türen für innovative Designs von HF-Komponenten öffnen (modernste Strukturierung von Dünnschichtstapeln für Hochleistungs-HF-Filter). 
  • Die Charakterisierungs- und Inspektionsplattform wird eine hochmoderne Prozesssteuerung für eine höhere Ausbeute im Rahmen fortgeschrittener F&E und kleiner Serien ermöglichen.