Mag-TF

• Anschaffung von Anlagen zur Abscheidung magnetischer Dünnschichten sowie zur Charakterisierung magnetischer Bauelemente auf Wafer-Ebene auf Substraten mit Durchmessern von bis zu 200 mm und 300 mm, darunter:
  • Anlagen zur physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) zur Herstellung magnetischer Dünnschichten und Mehrschichtstrukturen, die magnetische (ferro-, ferri- und antiferromagnetische) sowie nichtmagnetische Materialien kombinieren
  • ein automatisierter Magnet-Wafer-Prober zur Charakterisierung magnetischer Sensoren und Bauelemente auf Wafer-Ebene
• Ziel ist zudem die Unterstützung und Beschleunigung des Übergangs der österreichischen und europäischen Spintronik- und MEMS-Ökosysteme zu höheren TRLs sowie die Schaffung einer in Österreich einzigartigen Infrastruktur. Diese zählt zu den wenigen Einrichtungen in Europa, die in der Lage sind, hochwertige magnetische Dünnschichten auf industriell relevanten Wafer-Substraten herzustellen und zu charakterisieren.

Die Einrichtung der Mag-TF-Pilotlinie ermöglicht österreichischen, europäischen und internationalen Nutzergruppen entlang der gesamten Wertschöpfungskette – von Industriepartnern über Forschungseinrichtungen bis hin zu Universitäten – den Zugang zu einer fortschrittlichen Pilotlinieninfrastruktur für magnetische Dünnschichten. Diese Zugänglichkeit fördert technologische Durchbrüche in den Bereichen Spintronik, MEMS und hybride Mikrosysteme und beschleunigt den Technologietransfer von der Grundlagenforschung hin zu konkreten Anwendungen.