Surf’s Up

Dieses Projekt hat folgende Ziele:

• Weiterentwicklung der aktuellen Technologie von HF-Filtern auf Basis von Volumenwellen in piezoelektrischen Materialien (z. B. AlScN)
• Untersuchung der Wechselwirkungen zwischen allen Komponenten des Schichtstapels, wie z. B. den Elektrodenschichten und dem akustischen Spiegel
• Entwicklung von epitaktischem Al0,7Sc0,3N auf handelsüblichen Substraten im industriellen Maßstab mittels Magnetron-Sputtern
• Entwicklung eines neuen Mikrofabrikationsverfahrens einschließlich des Schichttransfers eines epitaktischen Al0,7Sc0,3N-Dünnfilms für hochwertige Resonatorstrukturen
• Demonstration der Leistungsfähigkeit von Al0,7Sc0,3N- und Interdigitated-Transducer-Strukturen (IDT) für optoakustische Anwendungen