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Einblicke in Mission, Werte und Forschungsaktivitäten sowie den Beitrag von SAL zur europäischen Innovationslandschaft.
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Magnetic Microsystem Technologies

Forschungsschwerpunkte

Wir entwickeln magnetische Mikrosysteme und Technologien für Sensorik, Aktuatorik, HF-Anwendungen sowie für innovative spintronische und quantenbasierte Systeme.

Unsere Abteilung deckt die gesamte Entwicklungskette ab – von Modellierung und Design über Material- und Dünnschichtentwicklung bis hin zu Mikro- und Nanofabrikation, Integration und Charakterisierung.

Dabei arbeiten wir in zentralen Technologiefeldern wie magnetischen Materialien, magnetoresistiven Sensortechnologien, magnetisch aktuierten MEMS, mikromagnetischen Komponenten sowie spintronischen Konzepten und magnetischen HF- und Mikrowellenbauelementen.

Durch die Kombination von Expertise in Magnetismus, Mikrosystemtechnik und Dünnschichttechnologien innerhalb unserer Reinraumumgebung entwickeln und validieren wir leistungsfähige Demonstratoren für industrielle Anwendungen und zukünftige Technologiefelder.

Forschungskompetenzen

Wir decken die gesamte Entwicklungskette magnetischer Mikrosysteme ab – von der Simulation und dem Design bis hin zur Fertigung und Systemcharakterisierung.

 

Design & Simulation

  • Simulation von Mikro- und Makromagnetfeldern sowie Multidomänen-Analysen (z. B. mit Magpylib, eigenentwickelt)
  • Systemdesign und -optimierung
  • Maßgeschneiderte numerische Methoden (FE, FD, MoM, BEM)
  • ML- und KI-basierte Algorithmen
  • Mikromagnet-Design

 

Fertigung

  • Fertigungszentrum für Mikromagnete
  • Lithografieverfahren (Maskenausrichter, Laser, Elektronenstrahl)
  • Abscheidung magnetischer Dünnschichten (Magnetron-Sputtern, Verdampfung)
  • Nass- und Trockenätzverfahren (RIE, Ionenstrahlätzen)

 

Charakterisierung & Prüfung

  • Präzise Tests von Magnetsensoren, Polrädern und Mikrosystemen
  • Dünnschichtcharakterisierung
  • Reinraum-Messtechnik (SEM, EDX, XRD, AFM, MFM)
  • Magnetische Messaufbauten (VSM, Helmholtz-Spulen, Elektromagnete sowie kundenspezifische Setups)

Anwendungen

Magnetische Systeme zur Positions- und Orientierungserfassung für Sensorik und Antriebstechnik

Magnetische MEMS für Antriebe, Sensorik, Mikromotoren und Energiegewinnung

Spintronische Anwendungen für Sensorik, Bio-Detektion und magnetische Bauelemente

HF-Komponenten für Telekommunikation, Radar, Sensorik und abstimmbare Mikrowellensysteme

Projekte

INDSPEED

Das Projekt INDSPEED entwi­ckelt ein neues ultra­prä­zises magne­ti­sches Encoder­system auf Basis von TMR-Sensoren und SmCo-Polrä­dern….

Mag-MEMS

Das Projekt „Mag-MEMS“ zielt darauf ab, einen miniaturisierten 3D-Tastsensor als Proof-of-Concept-Demonstrator zu entwickeln, der Scher- und Normalkräfte mit hoher räumlicher Auflösung und einem großen Empfindlichkeitsbereich erfassen kann. Dies wird durch die Integration maßgeschneiderter Arrays aus anisotropen magnetoresistiven (AMR) Sensoren erreicht, die die Verfolgung der dreidimensionalen Bewegung eines in einen flexiblen Rahmen eingebetteten permanenten Mikromagneten im Submillimeterbereich ermöglichen….

Mag-Speak

Ziel des Projekts „Mag-Speak“ war es, eine neue Generation von MEMS-Tieftöner-Mikrolautsprechern auf Basis magnetischer Antriebsprinzipien zu entwickeln, herzustellen und zu testen. Dabei wurde ein Proof-of-Concept-Mikrolautsprecher angestrebt, der im Vergleich zu derzeitigen State-of-the-Art-Systemen eine deutlich kompaktere Bauform bietet und gleichzeitig einen Schalldruckpegel sowie Werte bei der harmonischen Gesamtverzerrung erreicht, die den Marktanforderungen an Tieftöner entsprechen….
Zu allen Projekten

Kontakt

Business Development
Lisa Kainz MA
Business Development Microsystems
Graz
+43 664 88 964 965
lisa.kainz@silicon-austria.com
Head of Research Unit
Dr. Michael Ortner
Head of Research Unit Magnetic Microsystem Technologies
Villach
+43 664 88 200 148
michael.ortner@silicon-austria.com

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