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Einblicke in Mission, Werte und Forschungsaktivitäten sowie den Beitrag von SAL zur europäischen Innovationslandschaft.
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Thin Film Technologies

Forschungsschwerpunkte

Wir entwickeln hochleistungsfähige Dünnschichten als Grundlage für fortschrittliche Mikrosysteme und elektronische Bauelemente.

Unsere Forschung konzentriert sich auf die Entwicklung neuartiger Materialien und skalierbarer Produktionsprozesse, wobei wir physikalische und chemische Gasphasenabscheidung mit fortschrittlichen Charakterisierungstechniken kombinieren. Wir analysieren Materialeigenschaften von der atomaren bis zur makroskopischen Ebene und optimieren funktionale Eigenschaften wie Piezoelektrizität und Oberflächenwechselwirkungen.

Diese Dünnschichten dienen als wichtige Bausteine für piezoelektrische, photonische und magnetische Anwendungen in der Industrie und im Hightech-Bereich.

Forschungskompetenzen

Wir bieten umfassende Expertise in den Bereichen Dünnschichtabscheidung, Charakterisierung und Modellierung für fortschrittliche Materialsysteme.

Design & Simulation:

  • Atomistische Modellierung von Materialeigenschaften (z. B. Phasenstabilität, dielektrisches/piezoelektrisches Verhalten)
  • Modellierung elektrischer Felder und elektrooptischer Eigenschaften (z. B. LiNbO₃-Systeme)

Fertigung:

  • Abscheidung von Dünnschichten und Mehrschichtstrukturen auf Wafern bis zu 200 mm
  • Physikalische und chemische Gasphasenabscheidung von Funktionsmaterialien (piezoelektrisch, dielektrisch, metallisch, photonisch)
  • Technologien: Verdampfung, PECVD, PEALD, Sputtern (DC, RF, HiPIMS)

Charakterisierung & Testung:

  • Strukturanalyse (XRD, XRR, RSM, Spannungsanalyse)
  • Optische Charakterisierung (Ellipsometrie, Ramanspektroskopie)
  • Elektrische Charakterisierung (IV, CV, DLTS, LCR, VNA)
  • Funktionsprüfung (z. B. piezo-/ferroelektrische Reaktion, AFM-basierte Methoden)
  • Zuverlässigkeitsprüfung (HALT) und nicht standardmäßige Umgebungsbedingungen (Temperatur, Atmosphäre)

Anwendungen

Entwicklung von Dünnschichten und Mehrschichtstrukturen für piezoelektrische MEMS-Aktuatoren

Entwicklung von Dünnschichtstapeln aus mehreren Materialien für HF-MEMS und optische Bauelemente

Abscheidung und Optimierung transparenter leitfähiger Oxide für Quantenanwendungen

Entwicklung von Wellenleitern, Dielektrika und elektrooptischen Dünnschichten für PICs

Projekte

WBG-Pilotlinie

Die WBG-Pilotlinie stärkt die Wettbewerbsfähigkeit der europäischen Halbleiterindustrie durch die Förderung der gesamten Wertschöpfungskette und die schnelle Einführung fortschrittlicher Wide-Bandgap-Technologien. Im Fokus stehen WBG-Halbleiter wie SiC und GaN sowie neuartige Ultra-WBG-Materialien für Hochleistungs- und Hochfrequenzanwendungen….

Surf’s Up

Das Projekt „Surf’s Up“ widmet sich der Entwicklung einer neuen Generation von Hochfrequenzfiltern und Resonatoren auf der Grundlage einer neuen Technologie zur Schichtübertragung und zur Herstellung epitaktischer Nitridschichten mittels Magnetron-Sputtern….

ViTFOX

ViTFOX ist eine internationale Kooperation zwischen Europa und Korea mit dem Ziel, Halbleitertechnologien der nächsten Generation für künstliche Intelligenz voranzutreiben. Im Fokus des Projekts steht die Entwicklung „ferroelektrisch verstärkter“ Chips, die Vision Transformers (ViTs) mit außergewöhnlicher Energieeffizienz von mehr als 50 Billionen Operationen pro Sekunde pro Watt (TOPS/W) ausführen können….
Zu allen Projekten

Kontakt

Business Development
Lisa Kainz MA
Business Development Microsystems
Graz
+43 664 88 964 965
lisa.kainz@silicon-austria.com
Head of Research Unit
Priv.-Doz. Dr. Marco Deluca
Head of Research Unit Thin Film Technologies (TFT)
Graz
+43 664 88 515 685
marco.deluca@silicon-austria.com

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