Das Spitzenforschungszentrum Silicon Austria Labs (SAL) mit Sitz in Villach, Graz und Linz ist mit einem Vortrag von Mohssen Moridi beim „MEMS World Summit“ vertreten. Moridi ist Spezialist für Mikrosysteme und Leiter der Forschungseinheit „Microsystem Technologies“ bei SAL in Villach. Beim „MEMS World Summit“, einem Treffen von Führungspersonen am 7. und 8. September in München spricht er über neue Trends im Bereich der Mikroelektromechanischen Systeme (MEMS).

Dabei wird sich Moridi die Bühne mit Forschungsleiter*innen globaler Technologiekonzerne wie Huawei, Google und Infineon Technologies teilen, denn MEMS sind die technische Grundlage für moderne Elektronik und das sogenannte „Internet der Dinge“ (IoT). Als Bauelemente von Mikrochips vereinen sie Sensoren und Aktoren; die Anwendungsgebiete reichen von der Industrie 4.0 über die Automobilindustrie bis hin zu Medizinprodukten zur Patientenüberwachung.

Trends bei piezoelektrischen Mikrosystemen

Moridi beschäftigt sich insbesondere mit dem Einsatz von piezoelektrischen Materialien für die MEMS-Produktion, welche bei elastischer Verformung eine elektrische Spannung aufbauen und sich umgekehrt verformen, wenn sie elektrischer Spannung ausgesetzt sind (Piezoeffekt). Sie zeichnen sich durch einen geringeren Energieverbrauch als elektrostatische, -thermische oder -magnetische Mikrosysteme aus. „Piezoelektrische Mikrosysteme sind die Zukunft, der Markt hierfür wächst sehr rasch! Bei SAL in Villach beschäftigen wir uns daher sehr intensiv insbesondere mit Herstellungsmöglichkeiten derartiger Komponenten“, so Moridi. „Es ist mir eine Ehre und große Freude, beim MEMS World Summit über aktuelle Trends und Innovationen in diesem Bereich zu sprechen.“

Entwicklung neuer Dünnschicht-PZT-Prozesse in Kooperation mit Evatec

Bei SAL in Villach werden piezoelektrische MEMS aus dem Mischoxid PZT – die Abkürzung steht für Blei (Pb), Zirkonium (Zr) und Titan – hergestellt. Dabei kommt seit kurzem die CLUSTERLINE® 200 Dünnschichtanlage des Schweizer Unternehmens Evatec zum Einsatz, die sich besonders für die Bearbeitung von 200-Millimeter-Wafern eignet.

„Die Anschaffung dieses neuen Beschichtungssystems verbessert die Fähigkeit, unsere Industriekunden mit einer ganzen Reihe neuer Dünnschichtprozesse auf einer Anlage zu unterstützen, die ihren eigenen Produktionshallen entspricht“, so Moridi über den jüngsten Zugewinn von SAL in Villach. „Wir freuen uns darauf, die Installation der Anlage mit den Ingenieuren von Evatec Europe abzuschließen und erwarten, dass die ersten Schichten in unserem neuen PZT-Modul im vierten Quartal 2021 abgeschieden werden.“

Über Mohssen Moridi

Mohssen Moridi verfügt über mehr als 20 Jahre Erfahrung bei der Herstellung von MEMS. Seinen Master-Abschluss und das anschließende Doktorat in Mikrotechnologie erwarb er an der École Poly-technique Fédérale de Lausanne (EPFL). Anschließend hatte er mehrere Forschungspositionen in der Schweiz inne. Ab 2016 leitete er den Forschungsbereich Mikrosysteme bei der Carinthian Tech Research AG (CTR), die 2019 in die Silicon Austria Labs (SAL) überging. Als Leiter der Forschungseinheit „Microsystem Technologies“ bei SAL in Villach arbeitet er zusammen mit seinem Team aus über 30 Forscher*innen an piezoelektrischen und photonischen MEMS für neue Anwendungen.