Projekt: SensSemicon „Intelligente hochintegrierte Sensorsysteme für prädikative Instandhaltung von Halbleiter-Produktionsmaschinen“
Programm: FTI-Initiative „Silicon!Alps“
Projektleitung: Silicon Austria Labs GmbH
Laufzeit: 2 Jahre (01/2018 – 12/2019)
Konsortium: 4 Partner: Lam Research AG, NXP Semiconductors Austria GmbH, erfideo Software & Identifikations GmbH, Silicon Austria Labs GmbH
Projekt Volumen: € 826.881,-
Finanzierung: 30 % Industrie | 70 % Forschungsförderung