MOEMS 1-D-Scannermodul

PROJEKTHINTERGRUND

Am Fraunhofer IPMS (Institut für Photonische Mikrosysteme) hat man sich auf die Entwicklung und Fertigung kundenspezifischer MOEMS Scannerspiegel spezialisiert. Doch ein „nackter Chip“ liefert noch keine Messergebnisse. Daher haben sich die IPMS, HiperScan und CTR/SAL im Rahmen des COMET Programms zusammengetan, um intelligente Systementwicklungen zu schaffen. Im Konsortium wurde systemtechnisches Know-how, angefangen von der Aufbau- und Verbindungstechnik bis hin zur Elektronikentwicklung aufgebaut.

PROJEKTINHALT

Im Jahr 2009 ist daraus ein fertig entwickeltes Modul für eindimensionale MOEMS Scanner entstanden. Bei der Entwicklung handelt es sich um eine miniaturisierte Plattform zum Betrieb, zur Regelung, und zur Kapselung von Mikroscannerspiegel mit einer Schwingachse. Die Betriebsbedingungen dieser Scanner können, angepasst an die jeweilige Anwendung sehr unterschiedlich sein. Erst das 1-D Scannermodul ermöglicht es Systemintegratoren diese MOEMS Technologie mit vertretbarem Aufwand in einer Applikation einzusetzen. Es bildet also die Brücke zwischen Mikrosystemtechnik und der Anwendung und kann daher als „enabling technology“ für Systemintegration von MOEMS Scanner gesehen werden.