MM-Sens & Act

Im Rahmen des Projekts MM - Sens & Act wird ein innovativer Mikrospiegel entwickelt, der auf magnetischen und piezoelektrischen Antrieben mit vollständig integriertem Sensor für die Regelung basiert. Das Gerät wird sich durch einen großen mechanischen Winkelverschiebung, eine große Spiegelgröße, einen geschlossenen Regelkreis, Niederspannung und kompakte Abmessungen auszeichnen.

Im Rahmen des Projekts werden die folgenden Ziele verfolgt:

Entwurf von magnetischen Mikrospiegeln und integrierten magnetischen Sensoren
Herstellung und Charakterisierung der Mikromagnete, Mikrospulen und magnetischen Sensoren
Herstellung der Mikrospiegel
Testen der Mikrospiegel unter verschiedenen Umweltbedingungen

Projektfakten

Titel: Magnetic and hybrid micromirror with integrated magnetic sensor
Forschungsprogramm: "Microsystems Advanced Research Program", Strategische Finanzierung von SAL
Projektleitung: Perla Malagò

Ihr Ansprechpartner

Dr. Perla Malagò

Senior Scientist

E-mail: perla.malago@silicon-austria.com

Forschungsprogramm

Dieses Projekt wird aus dem strategischen Finanzierungsprogramm der SAL, dem Microsystems Advanced Research Program, finanziert.

Dabei handelt es sich um ein internes Finanzierungsprogramm, das darauf abzielt, innovative Spitzenforschung bei SAL voranzutreiben, indem Mikrosystem-Demonstratoren auf der Grundlage neuer Technologien entwickelt und der Industrie zugänglich gemacht werden.