Piezoelectric Microsystem Technologies

Die Forschungsunit “Piezoelectric Microsystem Technologies“ bezweckt, fortgeschrittene piezoelektrische Dünnschichten wie Aluminium-Scandium-Nitrid (AIScN) und Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) in neuartige MEMS-Herstellungsprozesse zu integrieren. Unser Ziel ist es, neuartige, komplexe Sensor- und Aktuator-Mikrosystemgeräte wie akustische Umwandler (PMUT, SAW/BAW, Mikrofone oder Mikrolautsprecher) sowie Mikrospiegel herzustellen. Damit können wir auf die Bedürfnisse unserer Kunden und Partner in den Bereichen Telekommunikation sowie Automobil- und Industrieanwendungen erfüllen.

Forschungsschwerpunkte

Design und Konzeption von Dünnschicht-Mikrosystem-Umwandlern auf uni- oder multimorpher-piezoelektrischer Basis (PMUT, SAW/BAW, Mikrospiegeln, Mikrofone, Mikrolautsprecher etc.)
Integration hochqualitativer piezoelektrischer Dünnschichten (AIN, AIScN, PZT) auf 200-mm-Si- und -SOI-Wafern in neuartigen Mikrofabrikationsprozessen
Entwicklung von speziellen Charakterisierungs-Setups für die Charakterisierung von akustischen und optischen MEMS

Forschungskompetenzen

Design und Konzeption von piezoelektrisch-basierten Dünnschicht-Mikrosystem-Umwandlern seit mehr als zehn Jahren (PMUT, SAW/BAW, Mikrospiegel, Mikrofone, Mikrolautsprecher etc.); Verwendung der FEM-Modellierung sowie innerbetrieblich entwickelter analytischer Designwerkzeuge
Herstellungsprozesse und Prozessabläufe auf 200-mm-Si- und -SOI-Wafern (inklusive Sputterdeposition und Strukturierung von AIN, AIScN, PZT; Strukturierung von Elektroden und Passivierungsschichten, Ober- und Rückseitenätzung von Silizium, Vakuum-Wafer-Level-Packaging von MEMS)
Wafer-Level-Prozess-Messtechnik sowie piezoelektrische Dünnschichtcharakterisierung
Chip-Level-Charakterisierung von MEMS mittels eigens dafür bestimmter Charakterisierungs-Setups (beispielsweise dem optischen Abtastwinkel von Mikrospiegeln) sowie Standard-Setups (Laser-Doppler-Vibrometrie, digitale holografische Mikroskopie)

Anwendungen

Mikrospiegel für miniaturisierte Pico-Projektoren und Straßenbeleuchtung
Mikrofone für exakte Messungen von Druckschwankungen
Mikrofone für Gas-Mess-Anwendungen
PMUT für intrakardiale medizinische Abbildungen mit hoher Auflösung
SAW/BAW für Hochfrequenz-RF-Filter und biologische Sensoren

Ihr Ansprechpartner

Porträt von Humberto am Schreibtisch (weißer Mann im Hemd mit Pullover und Brillen)

Dr. Humberto Campanella Pineda

Head of Piezoelectric Microsystem Technologies

E-mail: contact@silicon-austria.com