MM-SENS & ACT

• Entwurf eines magnetischen Mikrospiegels und seiner Komponenten – Mikromagnete, Mikrospulen, reflektierende Fläche, Torsionsstäbe usw. – mittels FEM- und analytischer Berechnungen
• Entwurf eines integrierten magnetoresistiven Sensorsystems mithilfe von FEM- und mikromagnetischen Simulationen
• Optimierung des Bauteils im Hinblick auf spezifische Zielanforderungen (Sichtfeld, Bauteilabmessungen, maximale Spannungs- bzw. Leistungsverluste usw.)
• Mikrofabrikation und Charakterisierung der Komponenten des magnetischen Mikrospiegels: permanente Mikromagnete, Mikrospulen und magnetoresistive Sensoren
• Fertigung der Mikrospiegel
• Prüfung der Mikrospiegel unter verschiedenen Umgebungsbedingungen wie Feuchtigkeit und Temperatur

Für die angestrebten Anwendungen im Rahmen von MM-Sens&Act wurde ein Mikrospiegel realisiert, der ein großes Sichtfeld von ±30° mit vergleichsweise großen Spiegelgrößen von bis zu 5 × 5 mm² kombiniert und dabei kompakte Geräteabmessungen von etwa 9 × 9 mm² beibehält. Diese Leistungsmerkmale werden durch einen geringen Stromverbrauch von unter 400 mW sowie den Betrieb bei Frequenzen unter 100 Hz ergänzt, was eine effiziente und skalierbare Systemintegration ermöglicht.

Nach der Optimierung für die Zielanwendungsfälle kann der Mikrospiegel vollständig auf 200-mm-Wafern mikrofabriziert werden, wobei ein monolithisch integrierter Magnetsensor eine Regelung im geschlossenen Regelkreis ermöglicht.