SAL instal­liert erstes euro­päi­sches ULVAC NLD-5700 TFLN-Ätzsystem

Silicon Austria Labs (SAL) hat seine Kompe­tenzen durch die Instal­la­tion des reak­tiven Ionen­ätz­sys­tems ULVAC NLD-5700 in seinem Rein­raum in Villach erwei­tert. Das System stellt einen bedeu­tenden Meilen­stein dar und stärkt mit seiner inno­va­tiven Plas­ma­tech­no­logie die Posi­tion von SAL als euro­päi­scher Partner für indus­trie­nahe Forschung und Entwick­lung weiter.

Das NLD-5700 nutzt die Neutral Loop Disch­arge (NLD)-Plas­ma­tech­no­logie von ULVAC und ermög­licht hoch­sta­bile und präzise Trocke­nätz­pro­zesse, die speziell auf anspruchs­volle photo­ni­sche Anwen­dungen zuge­schnitten sind.

Das System bietet mehrere wesent­liche tech­no­lo­gi­sche Vorteile:

• Plasma mit hoher Dichte und nied­riger Elek­tro­nen­tem­pe­ratur für stabile und kontrol­lierte Prozesse bei feinsten Struk­tur­größen
• Hervor­ra­gende Homo­ge­nität über den gesamten 8-Zoll-Wafer, die durch Anpas­sung des Neutral-Loop-Radius opti­miert werden kann
• Hohe Ätzraten, insbe­son­dere bei nied­rigen Prozess­drü­cken (0,1–1 Pa)
• Fähig­keit zur Herstel­lung von Struk­turen mit hohem Aspekt­ver­hältnis, einschließ­lich nahezu senk­rechter Seiten­wände

Erwei­terte Prozess­kom­pe­tenzen für die Indus­trie

Mit der Instal­la­tion des NLD-5700 erwei­tert SAL sein Port­folio im Bereich der Plas­ma­ätz­pro­zesse für TFLN (Thin-Film Lithium Niobate) erheb­lich und bietet Indus­trie­part­nern Zugang zu einer Tech­no­lo­gie­platt­form, die derzeit in Europa einzig­artig ist.

Das System ist insbe­son­dere für Unter­nehmen attraktiv, die inte­grierte photo­ni­sche Kompo­nenten der nächsten Gene­ra­tion, HF-Struk­turen (RF) sowie fort­schritt­liche Sensor­tech­no­lo­gien entwi­ckeln, bei denen Präzi­sion, Repro­du­zier­bar­keit und eine exakte Kontrolle verti­kaler Profil­struk­turen entschei­dend sind. Indus­trie­partner können Mach­bar­keits­stu­dien durch­führen, Prozesse opti­mieren und komplexe Bauele­men­t­ar­chi­tek­turen unter den hoch­mo­dernen Rein­raum­be­din­gungen von SAL vali­dieren.

„Mit dem ersten NLD-5700-System in Europa erwei­tern wir unsere Plas­ma­ätz­ka­pa­zi­täten für die nächste Gene­ra­tion photo­ni­scher und quan­ten­tech­no­lo­gi­scher Anwen­dungen erheb­lich“, erklärt Mohssen Moridi, Senior Director bei SAL. „Das System bietet unseren Indus­trie­part­nern eine leis­tungs­starke Platt­form für die Entwick­lung von Bauele­menten der nächsten Gene­ra­tion.“

„Die erfolg­reiche Inbe­trieb­nahme des NLD-5700 in Europa ist ein Meilen­stein, auf den wir beson­ders stolz sind“, sagt Haru­nori Iwai, Execu­tive Officer, Special Assi­gn­ment, Semi­con­ductor & Elec­tro­nics Domain bei ULVAC. „ULVAC wird die Part­ner­schaft mit SAL weiter vertiefen und gemeinsam das Wachstum von Photonik- und MEMS-Tech­no­lo­gien auf dem euro­päi­schen Markt voran­treiben. Durch konti­nu­ier­liche Inno­va­tion möchten wir zur nach­hal­tigen Entwick­lung der euro­päi­schen High­tech-Indus­trie beitragen.“

Mit der voll­stän­digen Inbe­trieb­nahme des NLD-5700 stärkt SAL seine Rolle als euro­päi­sches Kompe­tenz­zen­trum für fort­schritt­liche MEMS- und opti­sche Prozes­sie­rung weiter und schlägt die Brücke zwischen modernster Plas­ma­tech­no­logie und den konkreten Anfor­de­rungen indus­tri­eller Anwen­dungen.

Kontakt

Lisa Kainz, MA
Busi­ness Deve­lop­ment Micro­sys­tems