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Über SAL

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UWBG

Prüfung der Leistungsfähigkeit neuartiger Materialien mit extrem großer Bandlücke in Leistungsbauelementen

Ziel­set­zung

Ziel ist es, die Leistungsfähigkeit neuartiger Materialien mit extrem großer Bandlücke in Leistungsbauelementen zu untersuchen, durch:

  • Simulation der elektrischen Feldverteilung in Leistungsbauelementen
  • Prozessentwicklung für metallische und dielektrische Schichten, einschließlich Abscheidung (Verdampfung, Sputtern, Atomlagenabscheidung) und Ätzen
  • Untersuchung des Einflusses von Oberflächenbehandlungen
  • Herstellung von Dioden- und Transistor-Demonstrationsbauelementen
  • Prüfung der Demonstrationsbauelemente

Erwartete Ergebnisse 

  • Optimiertes Bauelementdesign auf der Grundlage von Simulationen
  • Prozessoptimierungen für Einzelprozess und Gesamtdurchlauf in Bezug auf Abscheidung, Ätzen und Lithografie
  • Zwei Generationen von Demonstrationsbauelementen
  • Vergleich von Bauelementen auf Basis eines neuartigen Materials mit extrem großer Bandlücke mit Bauelementen auf Basis herkömmlicher Materialien mit großer Bandlücke

Kontakt

Business Development
Lisa Kainz MA
Business Development Microsystems
Graz

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