Titel: Entwicklung piezoelektrischer mikromechanischer Ultraschallwandler für Gasdurchflussmessgeräte der nächsten Generation
Programm: SAL kooperative Forschung
Projektleiter: Lixiang Wu
Das Hauptziel dieses Projekts ist die Entwicklung fortschrittlicher pMUT-Anordnungen für Gasdurchflussmessgeräte, angefangen vom Konzept bis hin zum Prototyp.
Die fortschrittlichen pMUT-Anordnungen ermöglichen den Einsatz der Gasdurchflussmessgeräte unter rauen Bedingungen.
Weitere Forschungsanstrebungen:
Titel: Entwicklung piezoelektrischer mikromechanischer Ultraschallwandler für Gasdurchflussmessgeräte der nächsten Generation
Programm: SAL kooperative Forschung
Projektleiter: Lixiang Wu
PIXEL ist ein Forschungsprojekt im Rahmen des Programms "PROGRAM 2: Electronic microsystems & nanosystems and beyond - CMOS process technologies".
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