PIXEL

Ziel dieses Projekts ist die Entwicklung fortschrittlicher pMUT-Ultraschallwandler und -Anordnungen (Funktionsdemonstrator) für Gasdurchflussmessgeräte zur Durchflussmessung im Transportwesen und in energiebezogenen Anwendungen.

Projektziele

Das Hauptziel dieses Projekts ist die Entwicklung fortschrittlicher pMUT-Anordnungen für Gasdurchflussmessgeräte, angefangen vom Konzept bis hin zum Prototyp.
Die fortschrittlichen pMUT-Anordnungen ermöglichen den Einsatz der Gasdurchflussmessgeräte unter rauen Bedingungen.

Weitere Forschungsanstrebungen:

Die durch Druckschwankungen verursachte Frequenzverschiebung wird kompensiert, z. B. kann die Mittenfrequenz von 300 kHz auf 200 kHz verschoben werden.
Die Bandbreite der fortschrittlichen pMUT-Anordnungen wird auf 50 % verbessert.

Projektfakten

Titel: Entwicklung piezoelektrischer mikromechanischer Ultraschallwandler für Gasdurchflussmessgeräte der nächsten Generation

Programm: SAL kooperative Forschung

Projektleiter: Lixiang Wu

Ihr Ansprechpartner

Dr. Lixiang Wu

Microsystem Technologies

E-mail: lixiang.wu@silicon-austria.com

Forschungsprogramm

PIXEL ist ein Forschungsprojekt im Rahmen des Programms "PROGRAM 2: Electronic microsystems & nanosystems and beyond - CMOS process technologies".