Erforschung und Herstellung neuartiger pseudo-binärer Legierungen auf Aluminium-Nitrid-Basis für die Hochfrequenzelektronik.
VESPA
Partner Call offen bis: 31. Jänner 2023
Projektstart: Q1 2023
Die wichtigsten Herausforderungen und Themen der Untersuchung sind:
- Computersimulation der geeigneten Legierungskombinationen
- Legierungsmöglichkeit auf Basis der Legierungsenthalpie in Abhängigkeit von der mittels Dichtefunktionaltheorie untersuchten Legierungszusammensetzung
- Experimentelle Umsetzung der simulierten Legierungszusammensetzungen und deren umfassende Charakterisierung
Erwartete Ergebnisse
- Entdeckung einer Vielzahl neuer piezoelektrischer Materialien auf Basis der AlN-Matrix
- Etablierung der Produktionswege mittels Magnetfeldröhrenzerstäubung
- Fortschrittliche Charakterisierungsmethoden für neuartige Dünnschichten
- Herstellung von kapazitiven Strukturen für Tests und Zuverlässigkeitsprüfungen
