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Partner Call offen bis: 15. Jänner 2021

Projektstart: Q2 2022

Zielsetzung

Dieses Projekt zielt auf die Entwicklung der nächsten Generation von MEMS-Mikrolautsprechern ab, wobei der Schwerpunkt auf der Optimierung piezoelektrischer Materialien durch Sputterdeposition liegt.

Für das Projekt ergeben sich daraus folgende Zielvorgaben:

  • Entwicklung hochwertiger piezoelektrischer Multischichten mittels Sputterdeposition
  • Integration von Piezoaktuatoren mit polymeren, mechanischen Strukturen
  • Charakterisierung und Validierung der hergestellten piezoMEMS-Mikrolautsprecher

Die wichtigsten Herausforderungen und Themen der Untersuchung sind:

  • Piezoelektrische Mehrschichttechnologie
  • Integration von Polymeren in piezoelektrische Aktoren
  • Entwicklung von Mikrofabrikationsprozessen für PiezoMEMS-Mikrolautsprecher
     

Erwartetes Ergebnis

Aus dem vorliegenden Projekt sollen MEMS-Mikrolautsprecher auf der Grundlage von Polymeraktoren mit integrierten piezoelektrischen Mehrschichtelektroden hervorgehen.